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蒸鍍AS/AF的問題
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蒸鍍AS/AF的問題
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danieltsai06
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樓主
發表于: 12-01
機型:OPTORUN1850
^`C*";8Q
AS膜厚15nm.
fVe-esAw
外圈AS可達規水接觸角110度,但是內圈都達不到,有什么改善方法嗎?
j?` D\LZhf
懇求指教!!!
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xzaxd
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發表于: 12-01
蒸發源抬高試一試?或者增加厚度
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danieltsai06
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優秀文章,支持!
12-05
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ouyuu
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2樓
發表于: 12-01
蒸發源的位置很重要。材料蒸發后是往擴散泵的方向走的。
Y-
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