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[求助]蒸鍍AS/AF的問題 [復制鏈接]

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離線danieltsai06

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只看樓主倒序閱讀樓主發表于: 12-01

機型:OPTORUN1850
AS膜厚15nm.
外圈AS可達規水接觸角110度，但是內圈都達不到，有什么改善方法嗎?
懇求指教!!!

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離線xzaxd

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只看該作者 1樓發表于: 12-01

蒸發源抬高試一試？或者增加厚度

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優秀文章，支持！

12-05

離線ouyuu

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只看該作者 2樓發表于: 12-01

蒸發源的位置很重要。材料蒸發后是往擴散泵的方向走的。